In dieser Kategorie sind die Tücher zusammengefasst, die für den letzten Schritt des Polierprozesses, dem Superfinish, geeignet sind. Sie sind bei allen Superfinish-Anwendungen einsetzbar. Es besteht kein signifikanter Abtrag mehr, aber es können die besten Oberflächengüten erzielt werden.
Zu lange Polierzeiten können die Ebenheit jedoch negativ beeinflussen.
Bei den Finishing-Tüchern können neben den Standard-Mikro-Körnungen auch Submikron-Körnungen und CMP-Poliermittel eingesetzt werden..
Maße:
Durchmesser:
Dicken:
Härtegrade:
bis 1200 mm 0,55-1,25 mm
nicht definiert
Abrasive
Eigenschaften
mechanochemisches
Superfinish,
Diamantflüssigkeit (bei extrem harten Materialien)
Dicke 1,2 mm
glatte, geprägte oder strukturierte Oberfl äche
sehr gut geeignet zur Bearbeitung von Glas
Abrasive
Eigenschaften
mechanochemisches
Superfinish,
Diamantflüssigkeit (bei extrem harten Materialien)
Dicke 1,2 mm
glatte, geprägte oder strukturierte Oberfl äche
sehr gut geeignet zur Bearbeitung von Quarz, Saphir, Siliziumkarbid, verschiedene Kristalle und Halbleitertechnik
Abrasive
Eigenschaften
mechanochemisches
Superfinish,
Diamantflüssigkeit (bei extrem harten Materialien)
Dicke 1,2 mm
spezifisches Gewebe
hohe Dichte der Fasern
guter Widerstand gegen Abnutzung
sehr geeignet für Polieren von Silizium
Abrasive
Eigenschaften
Diamantflüssigkeit,
Körnung 3 bis 6 μ,
Wasserbasis
Dicke 0,90 mm
genoppt, mittelhart, geschmeidig
Feinarbeitung aller Materialien
empfohlen für Produktion
Abrasive
Eigenschaften
Diamantflüssigkeit,
Körnung 1/10 μ bis 1 μ,
Wasserbasis,
AL2O3 oder kolloidales Silizium
Dicke 0,88 mm
flexibel, weich, genoppt
Superfinish weicher Materialien
Abrasive
Eigenschaften
Diamantflüssigkeit,
Körnung 1/10 μ bis 3 μ,
auch mit Ceriumoxid möglich